無塵淨化車間中的溫濕度控制要求

發(fā)布者：科品佳時(shí)間：2021-3-30 11:37:18

無塵淨化車間是溫濕度主要是根據産品需求的生産工藝來确定，而且在滿足産品工藝要求的同時(shí)還(hái)要考慮到(dào)工作人員的舒适度。随著(zhe)無塵淨化車間空氣潔淨等級的提升，各類工藝對(duì)于溫濕度的要求也越來越嚴格。

總得來說(shuō)，産品的加工精度越高，對(duì)于溫濕度波動的要求也就(jiù)越高，要求溫濕度波動的範圍也就(jiù)越小。例如在一些大規模集成(chéng)電路的光刻曝光工藝中，直接隻有一百微米的材料，如果環境溫度與要求直接相差了一度，就(jiù)會(huì)造成(chéng)材料零點幾微米的偏差，在這(zhè)種(zhǒng)高精度要求的無塵淨化車間中就(jiù)是非常嚴重的生産事(shì)故。所以，這(zhè)種(zhǒng)工藝甚至是需求溫差保持在正負零點五攝氏度之間的。

另外，一些高精度的産品對(duì)于濕度的要求也非常嚴格。在一些電子元件的生産中，空氣的潮濕會(huì)直接影響到(dào)芯片的質量。而在大部分的矽類産品無塵淨化車間濕度的範圍被(bèi)嚴格規定在了30-45%之間。

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