靜電是淨化車間最難控制的因素之一，靜電可以使半導體器件生産中的廢品增多、降低電子設備的可靠性。因此，在半導體器件的生産中，所有的制造階段都(dōu)需要防止靜電對(duì)器件的作用。
消除靜電的方法很多，對(duì)有防靜電環境要求的淨化車間工程，常用以下幾種(zhǒng)方法：
1、選用合适的材料：
淨化車間裝修要采用不易産生靜電或産生靜電後(hòu)能(néng)較快洩漏的材料，多種(zhǒng)材料共同使用時(shí)，應選用在電序列表中位置接近的材料。所有的材料可歸入電的導體或電的絕緣體。導體是電流能(néng)通過(guò)的材料，絕緣體是電流不能(néng)通過(guò)的材料。
2、接地：
接地是帶電導體消除靜電最為普遍、經(jīng)濟、簡便、可靠的方法。
(1) 淨化車間内可能(néng)産生靜電危害的設備、流動液體、氣體或粉體管道(dào)應采取防靜電接地措施。
(2) 電子工業潔淨室的圍護結構(吊頂、地面(miàn)、牆、柱)應采用防靜電裝飾，可以抑制塵埃的帶電吸附。
(3) 工藝設備接地。
(4)辦公設備應采用能(néng)防靜電的材料制成(chéng)并接地。
(5)工作人員應穿戴防靜電的無塵衣、鞋、帽、手套、腕帶等。
3、中和：
將(jiāng)帶電體(靜電)周圍的空氣離子化後(hòu)，帶電的離子在電磁場作用下發(fā)生遷移，帶電體吸引異性電荷達到(dào)中和而消除靜電。靜電消除器是一種(zhǒng)能(néng)産生電 子和離子的裝置，它産生的電子、離子與帶電體上的異性電荷中和，從而消除靜電。絕緣材料表面(miàn)所帶的靜電荷、空氣中的靜電荷必須用靜電中和的辦法來消除。
4、濕度控制：
在衆多消除靜電的方法中，室内濕度控制也被(bèi)認為可以用來減少和消除淨化車間靜電。通過(guò)在環境中保持高的相對(duì)濕度，在該區域内物體的表面(miàn)將(jiāng)形成(chéng)薄薄的濕氣層，利用這(zhè)一薄層來提供導電的通道(dào)，使得可能(néng)産生的電荷流過(guò)該濕氣層耗散靜電荷。另外，薄薄的濕氣層可以增加物體表面(miàn)的潤滑性，摩擦生電也將(jiāng)減少。一般來說(shuō)，濕度越低，産生的電荷越多。但是資料表明，甚至在濕度高時(shí)也會(huì)産生顯著的靜電電壓，但是，在高濕度環境中，生産人員可能(néng)會(huì)感覺十分不舒服，零部件可能(néng)生鏽，并産生可焊性問題。同時(shí)，企圖用濕度控制來消除靜電的方法顯然是高耗費的，尤其在幹燥地區更是如此。
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